蛾眼减反结构设计与加工承接 - 讯技光电科技(上海)有限公司

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蛾眼減反結構設計與加工承接

時間:2019-08-25 16:19來源:訊技光電作(zuo)者: 營銷部點擊(ji):次打印

蛾眼結構可以減少反射率，原因在于：當材料表面納米結構尺度小于光波長時，光波無法辨認出該納米結構，而圓錐型的蛾眼結構可以使材料表面的折射率沿深度方向呈連續變化，從而減小折射率急劇變化所造成的反射。

對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結構，需要對其進行嚴格的矢量計算和分析，通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態法（Fourier Modal Method，FMM）以及參數運行（New Parameter Run）和參數優化（New Parameter Optimization）功能，可以實現不同角度以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結構的設計。

目前，我們采用納米壓印技術，可以在玻璃或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結構，實現減反效果。在可見光范圍內可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段，結合納米壓印和等離子刻蝕工藝，可以在硅表面加工蛾眼結構來減少其對紅外光的反射。

上圖：VirtualLab Fusion設計的抗反射蛾眼結構

下圖：加工出來的抗反射蛾眼結構

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